Dr Paweł Michałowski LIDEREM

24 listopada 2021

Narodowe Centrum Badań i Rozwoju doceniło projekt dra Michałowskiego. Jego celem jest opracowanie nowej funkcjonalności techniki spektrometrii mas jonów wtórnych (skrót SIMS) – obrazowania trójwymiarowego. Pomimo że tego typu pomiary są już wykonywane (jednak wyłącznie w formie studium przypadku), dla danej próbki opracowuje się procedurę pomiarową. Jest ona dość specyficzna i nie nadaje się do innych, nawet podobnych próbek.

Główną ambicją projektu jest zatem odejście od doraźnego rozwiązywania problemów związanych z trójwymiarowym obrazowaniem SIMS przez opracowanie zestawu uniwersalnych procedur pomiarowych, dzięki którym można będzie badać szeroką grupę materiałów i przyrządów o budowie nieplanarnej.

Opracowane procedury będą różnorodne, względnie uniwersalne oraz umożliwiające szybką analizę nowych próbek nieplanarnych. Jest to niezwykle istotne, gdyż współczesna elektronika rozwija się jednak w kierunku struktur trójwymiarowych, takich jak FinFET czy Gate-all-around FET, w fotonice istotną rolę odgrywają kropki kwantowe, pojawia się też wiele innowacyjnych materiałów w postaci małych płatków / krystalitów.

Wyniki projektu staną się więc atrakcyjne dla ośrodków przemysłowych, badawczo-rozwojowych, a także naukowych, które pracują nad materiałami i przyrządami półprzewodnikowymi o nieplanarnej strukturze. Siedem instytucji wyraziło już zainteresowanie wynikami projektu. W budżecie przewidziano również środki na promocje, dzięki której planuje się pozyskanie nowych klientów.