Rozbudowa urządzenia SEM/FIB o detektor EDS oraz stolik mrożeniowo-grzewczy

Rozbudowa systemu SEM/FIB o nowoczesny detektor EDS (spektroskopia rentgenowska z dyspersją energii) zwiększyła możliwości analityczne urządzenia w zakresie analizy składu chemicznego materiałów i struktur. Ponadto system został rozbudowany o stolik mrożeniowo/grzewczy oparty o moduł Peltiera, który umożliwia precyzyjną kontrolę temperatury badanego materiału w zakresie od -50 ° C do 100° C. Zakupiony detektor EDS, poprzez swoją unikalną konstrukcję (Bruker FlatQUAD), posiada zwiększoną czułość pomiaru w stosunku do standardowych detektorów EDS.

Detektor, który jest wsuwany bezpośrednio nad badany materiał, umożliwia zbieranie sygnału generowanego w zagłębieniach powierzchni. Dzięki temu możliwa jest analiza w takich obszarach, jak przekroje wgłębne wykonane techniką FIB, które poprzez swoją geometrię sprawiają, że generowane charakterystyczne promieniowanie rentgenowskie ma utrudniony dostęp do standardowego detektora.

Poprzez zwiększoną czułość detektora pomiar wykonywany jest w krótkim czasie, co jest szczególnie istotne w przypadku materiałów wrażliwych na wiązkę elektronową, takich jak materiały opracowywane dla nowych generacji baterii. Ponadto, dzięki stolikowi mrożeniowo/grzewczemu możliwe jest schłodzenie podczas pomiarów próbek do temperatury -50 ° C co dodatkowo zapobiega szkodliwym skutkom oddziaływania materiałów z wiązką elektronową oraz jonową.