Opracowanie konstrukcji, projekt i wykonanie masek fotolitograficznych oraz wykonanie serii prototypowej struktur krzemowych z dwoma poziomami metalizacji (Pt, Au, Ti, Cr, Al).  Przyrządy zawierające mikrogrzejniki, termometr, kondensator grzebieniowy znajdujące się na membranach Si lub Si3N4 oraz termorezystory zawieszone w kanale przepływowym mogą służyć jako detektory termokonduktometryczne (TCD) lub detektory temperatury punktu rosy. Możliwość zamknięcia kanału przepływowego lub mikrokomory pomiarowej przez szklaną lub krzemową pokrywę trwale połączoną z podłożem, w którym wykonano przyrząd. Wstępna charakteryzacja elektryczna serii prototypowej przyrządów zgodnie z wymaganiami Zamawiającego.