Skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM) umożliwia obrazowanie powierzchni materiałów stałych z wysoką rozdzielczością i dużym powiększeniem. Technika ta polega na skanowaniu próbki skupioną wiązką elektronów, co pozwala uzyskać szczegółowe obrazy topografii powierzchni, a także ujawnić defekty, uszkodzenia i nierówności z dokładnością do kilku nanometrów. Maksymalne powiększenie może sięgać nawet 200 000 razy, przy rozdzielczości do 0.7 nanometra przy napięciu 15 kilowoltów.
Dzięki zastosowaniu detektorów EDS możliwa jest również analiza jakościowa i ilościowa składu chemicznego w skali mikro i nano. Analizę składu chemicznego, w tym mapowanie przestrzennego rozkładu pierwiastków chemicznych możemy wykonywać dzięki zastosowaniu wyjątkowo czułego detektora (Bruker FlatQUAD).
W naszej jednostce dostępne są mikroskopy Zeiss Auriga, Hitachi SU8230 oraz FEI Helios 600 Dual Beam. Urządzenia te oferują możliwość obrazowania w głębokiej próżni i obsługują próbki o średnicy do 200 milimetrów i grubości do 80 milimetrów. Wykorzystanie mikromanipulatorów pomiarowych Kleindiek z ostrzami o promieniu 100 nm pozwala wykonać w mikroskopie SEM pomiary elektryczne w skali submikrometrowej.