Celem projektu jest rozbudowa potencjału badawczego Centrum Nanoelektroniki, Mikrosystemów i Fotoniki ITE. Postawiony cel zostanie zrealizowany poprzez zakup zestawu urządzeń dla linii doświadczalnej technologii mikrosystemów MEMS, Sensorów i Detektorów (ITE Piaseczno), zestawu urządzeń dla linii doświadczalnej mikromontażu mikrosystemów, Sensorów i Detektorów (ITE Piaseczno) oraz zestawu urządzeń do Laboratorium (gniazda) Litografii Submikrometrowej (ITE Warszawa, Al. Lotników); projekt obejmie również niezbędną adaptację instalacji technologicznych. Wszystkie proponowane do zakupu urządzenia stanowią wyposażanie niezbędne dla realizacji prac w zakresie technologii wytwarzania sensorów, detektorów i mikrosystemów (MEMS) oraz przyrządów półprzewodnikowych opartych o pół- przewodniki szerokoprzerwowe (w tym GaN) dla zastosowań w energetyce oraz mikrofalowych (komunikacyjnych i radiolokacyjnych).

Inwestycja będąc poważnym wzmocnieniem potencjału infrastruktury badawczej ITE umożliwi rozszerzenie zakresu prac badawczych realizowanych dla potrzeb przemysłu krajowego i zapewni intensywniejsze uczestnictwo współpracujących z ITE krajowych podmiotów gospodarczych w projektach finansowanych przez programy ramowe Unii, a także zwiększy ich zaangażowanie w działalność rozwojową.