[fusion_builder_container type=”flex” hundred_percent=”no” equal_height_columns=”no” menu_anchor=”” hide_on_mobile=”small-visibility,medium-visibility,large-visibility” class=”” id=”” background_color=”” background_image=”” background_position=”center center” background_repeat=”no-repeat” fade=”no” background_parallax=”none” parallax_speed=”0.3″ video_mp4=”” video_webm=”” video_ogv=”” video_url=”” video_aspect_ratio=”16:9″ video_loop=”yes” video_mute=”yes” overlay_color=”” video_preview_image=”” border_color=”” border_style=”solid” padding_top=”” padding_bottom=”” padding_left=”” padding_right=””][fusion_builder_row][fusion_builder_column type=”1_1″ layout=”1_1″ background_position=”left top” background_color=”” border_color=”” border_style=”solid” border_position=”all” spacing=”yes” background_image=”” background_repeat=”no-repeat” padding_top=”” padding_right=”” padding_bottom=”” padding_left=”” margin_top=”0px” margin_bottom=”0px” class=”” id=”” animation_type=”” animation_speed=”0.3″ animation_direction=”left” hide_on_mobile=”small-visibility,medium-visibility,large-visibility” center_content=”no” last=”true” min_height=”” hover_type=”none” link=”” border_sizes_top=”” border_sizes_bottom=”” border_sizes_left=”” border_sizes_right=”” first=”true”][fusion_text columns=”” column_min_width=”” column_spacing=”” rule_style=”” rule_size=”” rule_color=”” hue=”” saturation=”” lightness=”” alpha=”” content_alignment_medium=”” content_alignment_small=”” content_alignment=”” hide_on_mobile=”small-visibility,medium-visibility,large-visibility” sticky_display=”normal,sticky” class=”” id=”” margin_top=”” margin_right=”” margin_bottom=”” margin_left=”” fusion_font_family_text_font=”” fusion_font_variant_text_font=”” font_size=”” line_height=”” letter_spacing=”” text_transform=”” text_color=”” animation_type=”” animation_direction=”left” animation_color=”” animation_speed=”0.3″ animation_delay=”0″ animation_offset=””]
Trzy lata po złożeniu pierwszego zamówienia w firmie Veeco (dawniej Epivulac) na nowy system osadzania chemicznego (CVD) w podwójnej konfiguracji spotkaliśmy się z przedstawicielami firmy: Per-Andersem Erikssonen i Rogerem Nilssonem, aby ustalić ramy współpracy po uruchomieniu reaktora.
„To nowoczesne urządzenie pozwoli na znaczne rozszerzenie możliwości badawczych naszego Instytutu w dziedzinie epitaksji i jednocześnie pomoże w efektywnej komercjalizacji wyników naszych badań” – powiedział Piotr Cywiński, Lider obszaru ds. współpracy zagranicznej.
Firma Veeco dostarczyła i zainstalowała w Łukasiewicz – IMiF reaktor umożliwiający epitaksję węglika krzemu i azotku galu, zapraszamy wszystkie zainteresowane strony z obszaru technologii GaN i SiC do kontaktu z naszym Instytutem. Wraz z epitaksją oferujemy również możliwość bezpośredniej charakteryzacji otrzymanych warstw epitaksjalnych.
Roger Nilsson, dyrektor ds. technicznych w Veeco: “Rozwój reaktora rozpoczął się lata temu we współpracy z Uniwersytetem w Linköping. W ostatnich kilku latach udoskonaliliśmy ten projekt, tworząc zupełnie nową platformę. Reaktor był pierwotnie zaprojektowany dla 8-calowych podłoży, co wymagało nowych rozwiązań w kontroli profilu temperatury i stężenia przepływu gazu na dużych podłożach. Nasz reaktor ma także unikalną cechę, która umożliwia łączenie dwóch lub więcej systemów w WBG-Multi-Reactor-CVD-System. Takie wielosystemowe podejście pozwala użytkownikowi zoptymalizować zachodzącą chemię w każdym reaktorze, co prowadzi do bardzo wysokiej wydajności.”
Systemy wyposażono w automatyczny manipulator podłoży, który łączy oba reaktory. W celu zwiększenia zdolności produkcyjnych, podłoża są podgrzewane i schładzane przed podaniem do reaktora. Veeco oferuje rozwiązanie “pod klucz”, obejmujące wsparcie w uruchomieniu systemu i podstawowego wzrostu epitaksjalnego. Nowy ER3 zawiera również opatentowany element, który minimalizuje wyginanie podłoży podczas epitaksji.
[/fusion_text][/fusion_builder_column][/fusion_builder_row][/fusion_builder_container]