Osadzanie warstw dielektrycznych metodą ALD

Osadzanie warstw dielektrycznych metodą ALD

Osadzanie warstw dielektrycznych tlenków i azotków metali metodą ALD, standardowo HfO2, ZrO2, Ta2O5, Al2O3, SiO2; możliwość opracowania tlenków mieszanych. Średnica podłoża do 6 cali.

Nie ma odpowiedzi na twoje pytanie?

This will close in 0 seconds