Działalność grupy koncentruje się wokół prac badawczo-rozwojowych w dziedzinie mikrotechnologii opartej na technologii krzemowej i obejmuje szeroki zakres tematyczny: fotodiody krzemowe i detektory promieniowania jonizującego, detektory cieplnoprzewodnościowe, czujniki mikromechaniczne wykorzystujące zjawisko rezonansu mechanicznego, struktury mikroprzepływowe, techniki mikromontażu oraz monokrystalizację krzemu i jego obróbkę.