Grupa prowadzi działalność badawczą w zakresie charakteryzacji materiałów i struktur mikroelektronicznych. Działalność grupy obejmuje wsparcie klientów wewnętrznych i zewnętrznych (przemysł, instytuty badawcze, uczelnie) w tworzeniu nowych technologii, rozwój technik badawczych (poprawa osiągów, opracowanie nowych funkcjonalności), pisanie własnych wniosków projektowych oraz udział w ich opracowywaniu, pisanie publikacji naukowych oraz rozpowszechnianie możliwości pomiarowych (konferencje, seminaria).